วิธีเลือกถุงมือแบบใช้แล้วทิ้งที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการพิมพ์ภาพบนแผ่นเวเฟอร์?

ในกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการลิโทกราฟีเป็นขั้นตอนสำคัญที่ต้องใช้ความแม่นยำสูง ซึ่งเป็นตัวกำหนดผลผลิตของชิป ในฐานะที่เป็น “แกนหลักของการฉายแสงและการสร้างภาพ” ในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ ลิโทกราฟีครอบคลุมขั้นตอนการทำงานทั้งหมด รวมถึงการเคลือบแบบหมุน การฉายแสง การพัฒนา การกัด และการทำความสะอาดแบบเปียก และกำหนดข้อกำหนดที่เข้มงวดอย่างยิ่งเกี่ยวกับความสะอาดของสภาพแวดล้อม การควบคุมสิ่งเจือปน การป้องกันไฟฟ้าสถิต และความทนทานต่อสารเคมี อนุภาคฝุ่นขนาดไมครอน การเคลื่อนตัวของไอออนในปริมาณเล็กน้อย และการปล่อยประจุไฟฟ้าสถิตชั่วคราว ล้วนสามารถทำให้เกิดข้อบกพร่องของโฟโตเรซิสต์ การจัดเรียงลวดลายผิดพลาด การออกซิเดชันของเวเฟอร์ และการลัดวงจรขนาดเล็กในวงจร ซึ่งนำไปสู่การทิ้งเวเฟอร์ทั้งหมดและส่งผลให้เกิดการสูญเสียการผลิตอย่างมหาศาล โรงงานผลิตชิปหลายแห่งพยายามอย่างหนักเพื่อปรับปรุงผลผลิตของกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี แม้ว่าอุปกรณ์ กระบวนการ และพารามิเตอร์ด้านสิ่งแวดล้อมจะอยู่ในระเบียบแล้วก็ตาม ปัญหาคอขวดมักอยู่ที่วัสดุสิ้นเปลืองสำหรับการป้องกันมือที่ดูเหมือนจะไม่สำคัญ ถุงมือคลีนรูมทั่วไประดับ Class 1,000 หรือระดับอุตสาหกรรมนั้นไม่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับมาตรฐานระดับสูงมากของกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี

เหตุใดจึงห้ามใช้ถุงมือคลีนรูมทั่วไปในกระบวนการพิมพ์หินอย่างเด็ดขาด?

ผงตกค้างทำให้เกิดการปนเปื้อนของสารไวแสง

ไอออนซัลเฟอร์และคลอไรด์ที่มากเกินไปจะกัดกร่อนวงจรบนแผ่นเวเฟอร์

ไฟฟ้าสถิตควบคุมไม่ได้ ส่งผลให้แผ่นเวเฟอร์สำหรับกระบวนการโฟโตลิโทกราฟีที่มีความแม่นยำสูงเกิดความเสียหาย

การหลุดลอกและการแตกเป็นชิ้นเล็กๆ นำไปสู่ข้อบกพร่องจากสิ่งแปลกปลอมในกระบวนการผลิต

ถุงมือไนไตรล์ไร้แป้ง LjieClean Class 100

บริษัท Suzhou Leader มุ่งเน้นไปที่ภาคการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และแก้ไขปัญหาที่เกิดขึ้นในกระบวนการลิโทกราฟี โดยเราได้พัฒนาถุงมือไนไตรล์ชนิดไร้แป้งและปล่อยก๊าซต่ำระดับ Class 100 ที่ตรงตามข้อกำหนดการผลิตของกระบวนการลิโทกราฟีบนเวเฟอร์ทั้งหมดอย่างสมบูรณ์แบบ ทำให้ถุงมือของเราเป็นวัสดุสิ้นเปลืองเพื่อการป้องกันที่ได้รับความนิยมสำหรับโรงงานผลิตและบริษัทบรรจุภัณฑ์และทดสอบเวเฟอร์จำนวนมาก

1. กระบวนการปราศจากผงโดยใช้ไดคลอไรด์: ไม่มีการปนเปื้อนของผงในกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี

วิธีนี้ใช้กระบวนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยคลอรีนเฉพาะสำหรับสารกึ่งตัวนำ จึงไม่จำเป็นต้องเติมสารเสริมใดๆ เช่น แป้งทัลค์ แป้งข้าวโพด หรือน้ำมันซิลิโคน ตลอดกระบวนการ ทำให้การใช้งานราบรื่นตลอดกระบวนการ ขจัดอนุภาคผงและคราบน้ำมันซิลิโคนที่ปนเปื้อนสารไวแสงตั้งแต่ต้นทาง จึงช่วยแก้ไขข้อบกพร่องจากอนุภาคแปลกปลอมในกระบวนการโฟโตลิโทกราฟีได้อย่างสมบูรณ์

2. การล้างด้วยน้ำบริสุทธิ์พิเศษหลายขั้นตอน ช่วยให้มีปริมาณกำมะถัน คลอรีน และไอออนต่ำ

ด้วยการล้างอย่างล้ำลึกหลายรอบด้วยน้ำบริสุทธิ์สูง สารเติมแต่งวัตถุดิบและสิ่งตกค้างบนพื้นผิวจะถูกกำจัดออกไป ปริมาณกำมะถัน คลอรีน และไอออนโลหะที่ละลายน้ำได้ถูกควบคุมอย่างเข้มงวด ส่งผลให้มีสารตกค้างที่ไม่ระเหย (NVR) ต่ำ ซึ่งช่วยป้องกันการเกิดออกซิเดชันของเวเฟอร์ การกัดกร่อนของสารเคลือบ และข้อบกพร่องในการกัด ทำให้ถุงมือเข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับกระบวนการพิมพ์หินที่ต้องการความแม่นยำสูงสำหรับเวเฟอร์ขนาด 8 และ 12 นิ้ว

3. การป้องกัน ESD แบบดัดแปลงในแม่พิมพ์ เพื่อปกป้องเวเฟอร์ที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต

แตกต่างจากถุงมือป้องกันไฟฟ้าสถิตทั่วไปที่มีจำหน่ายในท้องตลาดซึ่งใช้การเคลือบแบบสเปรย์ชั่วคราว ถุงมือของ Gonars ใช้เทคโนโลยีการปรับปรุงคุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิตแบบขึ้นรูปในวัสดุฐานไนไตรล์ ซึ่งช่วยให้ความต้านทานพื้นผิวมีความเสถียรและสม่ำเสมอ และกระจายไฟฟ้าสถิตอย่างต่อเนื่องตลอดกระบวนการทั้งหมดเพื่อป้องกันการสะสมของไฟฟ้าสถิตที่อาจทำให้สารไวแสงเสียหายและสร้างความเสียหายต่อวงจรเวเฟอร์ที่มีความแม่นยำสูง เหมาะสำหรับขั้นตอนหลักของการพิมพ์หิน เช่น การฉายแสงและการล้างภาพ

4. ยืดหยุ่นและกระชับพอดี เหมาะสำหรับงานที่ต้องการความแม่นยำระดับไมครอน

ถุงมือทำจากวัสดุที่ยืดหยุ่นและแนบไปกับรูปทรงของมือ มีดีไซน์พื้นผิวกันลื่นบริเวณปลายนิ้ว น้ำหนักเบาและไม่เทอะทะ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับงานที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่น การจัดการแผ่นเวเฟอร์สำหรับการพิมพ์ภาพด้วยแสง การแก้ไขปัญหาอุปกรณ์ และการตรวจสอบที่แม่นยำ ช่วยให้เคลื่อนไหวได้อย่างอิสระและป้องกันการลื่นไถล ลดความเสียหายที่เกิดจากการกระแทกโดยไม่ตั้งใจระหว่างการทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ยังทนต่อตัวทำละลายในการพิมพ์ภาพด้วยแสง กรดและด่างอ่อนๆ และยังคงความทนทานโดยไม่เสื่อมสภาพหรือฉีกขาดแม้ใช้งานเป็นเวลานาน

5

✅ บรรจุภัณฑ์สุญญากาศสองชั้นช่วยป้องกันการปนเปื้อนซ้ำ

ผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปจะถูกบรรจุในห้องปลอดเชื้อระดับ 100 ตลอดกระบวนการ โดยใช้บรรจุภัณฑ์สุญญากาศสองชั้น ซึ่งป้องกันฝุ่นและความชื้นได้อย่างสมบูรณ์ระหว่างการจัดเก็บและการขนส่ง เมื่อเปิดบรรจุภัณฑ์แล้วจะไม่มีการปนเปื้อนเพิ่มเติม ทำให้สามารถนำไปใช้งานในห้องปลอดเชื้อสำหรับการพิมพ์หินระดับ 100 ได้ทันที