ท่ามกลางข้อกำหนดที่เข้มงวดมากขึ้นเรื่อยๆ เกี่ยวกับ “ความสมบูรณ์แบบไร้ตำหนิ” ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ถุงมือไนไตรล์ขนาด 9 นิ้วที่มีคลอรีนต่ำของ Lijie ได้กลายเป็นอุปกรณ์ป้องกันที่ขาดไม่ได้ในขั้นตอนการแปรรูปเวเฟอร์และการบรรจุชิป เนื่องจากมีปริมาณไอออนตกค้างต่ำเป็นพิเศษและประสิทธิภาพการทำความสะอาดสูง ด้วยกระบวนการผลิตพิเศษ ปริมาณคลอรีนในถุงมือจึงถูกควบคุมอย่างเข้มงวดที่ ≤50 ppm ซึ่งสูงกว่ามาตรฐานอุตสาหกรรมที่ 100 ppm อย่างมาก สิ่งนี้ช่วยป้องกันความเสี่ยงจากการกัดกร่อนที่เกิดจากการเคลื่อนตัวของไอออนคลอไรด์บนพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการควบคุมการปนเปื้อนในระดับจุลภาค
ในกระบวนการพิมพ์หิน (lithography) ความสะอาดของถุงมือส่งผลโดยตรงต่อความแม่นยำของการเคลือบสารไวแสง (photoresist) และผลลัพธ์ของการฉายแสง ผลิตภัณฑ์นี้ผลิตในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100,000 และผ่านการกำจัดฝุ่นด้วยเลเซอร์ ทำให้มีการปล่อยอนุภาคบนพื้นผิวต่ำกว่า 0.2 อนุภาคต่อตารางนิ้ว ซึ่งตรงตามมาตรฐานห้องปลอดฝุ่น ISO Class 3 จึงช่วยป้องกันการเกาะติดของอนุภาคขนาดเล็กบนพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดข้อบกพร่องในการพิมพ์หิน การออกแบบความยาว 9 นิ้ว ให้การปกคลุมเต็มที่ตั้งแต่ข้อมือถึงฝ่ามือ เมื่อรวมกับโครงสร้างข้อมือแบบยืดหยุ่น ทำให้มีความยืดหยุ่นในการใช้งาน พร้อมทั้งป้องกันฝุ่นละอองที่บริเวณปากถุงมือได้อย่างมีประสิทธิภาพ ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดสำหรับสภาพแวดล้อมที่สะอาดและเปลี่ยนแปลงตลอดเวลาในกระบวนการพิมพ์หิน
ในระหว่างกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง เช่น การกัดกรดและการฝังไอออน ถุงมือเหล่านี้แสดงให้เห็นถึงความทนทานต่อสารเคมีเป็นพิเศษ หลังจากการทดสอบแช่ในสารเคมีที่ใช้กันทั่วไปในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เช่น กรดไฮโดรฟลูออริกและกรดฟอสฟอริก เป็นเวลา 24 ชั่วโมง ถุงมือไม่บวมหรือแตก และมีอัตราการเปลี่ยนแปลงน้ำหนักต่ำกว่า 0.8% ซึ่งให้การปกป้องมือที่เชื่อถือได้สำหรับผู้ปฏิบัติงาน ในขณะเดียวกันก็ลดความเสี่ยงจากการปนเปื้อนของสารเคมีเนื่องจากความเสียหายของถุงมือ ปลายนิ้วมีพื้นผิวกันลื่นที่แกะสลักด้วยเลเซอร์ขนาด 0.02 มม. ช่วยเพิ่มแรงเสียดทานได้ 35% เมื่อจัดการกับแผ่นเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว และลดความเสี่ยงของการลื่นไถลของแผ่นเวเฟอร์ได้ 60% จึงทำให้เกิดความสมดุลระหว่างความปลอดภัยในการป้องกันและความเสถียรในการใช้งาน
ปัจจุบันถุงมือเหล่านี้ได้รับการรับรองตามมาตรฐาน SEMI F57 และถูกนำไปใช้ในสายการผลิตจำนวนมากในโรงงานชั้นนำต่างๆ รวมถึง SMIC และ Hua Hong Semiconductor ถุงมือเหล่านี้ช่วยลดอัตราของเสียจากแผ่นเวเฟอร์ที่เกิดจากการสัมผัสด้วยมือได้ถึง 38% ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมที่สุดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการสร้างสมดุลระหว่างการป้องกันในห้องปลอดเชื้อกับประสิทธิภาพในการดำเนินงาน
วันที่เผยแพร่: 11 พฤศจิกายน 2025